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       直讀光譜儀配備真空系統(tǒng)，相比非真空型直讀光譜儀，其可檢測真空紫外光譜區(qū)域的元素，解決了碳、硫、磷、砷、硼等元素分析。針對他的檢驗檢測方式，我們來看一下。

       真空直讀光譜儀的結(jié)構(gòu)要比非真空直讀光譜光復(fù)雜，各種光學元件置于真空分光室中這種殼體必須保證在真空度的作用下不變形，相對位置不發(fā)生變化；尤其是分光室的結(jié)構(gòu)必須考慮受力均勻，變形小。

       真空室內(nèi)與真空外部接觸的運動零件（如描跡狹縫，石英窗，透鏡）要盡量減少，并需要密封材料，以免在抽真空時發(fā)生漏氣，影響真空度。

真空型直讀光譜儀的檢驗檢測

       空氣成分主要是由氮、氧、水蒸汽和各種惰性氣體組成，其中以前三者含量最高，空氣對遠紫外光譜的吸收是很強烈的，尤其以氧氣的吸收最為嚴重。

       氧氣在遠紫外光譜區(qū)存在著兩個吸收區(qū)，第一個吸收區(qū)是從195nm開始直到176nm左右。在160-130nm的光譜區(qū)氧氣基本上是透明的。第二個吸收區(qū)是110-130nm或者更短波長，該吸收區(qū)的吸收峰處在145nm附近。在吸收峰附近，14微米厚的氧氣層在常溫常壓下能吸收進入其中的一半輻射強度。

       氮氣的吸收區(qū)是從145nm開始，直到99nm，隨后吸收變小，氮氣在> 145nm的遠紫外光譜區(qū)是透明的。

       水蒸汽具有兩上吸收區(qū)，一個是從178nm開始，另一個是從134nm開始。水蒸氣的吸收比氧氣弱很多。

       惰性氣體的吸收是比較小的，可以忽略不計。根據(jù)以上討論?？梢哉J為空氣對遠紫外光譜和吸收主要取決于氧氣，因此工作光譜區(qū)域大于160nm的分光室必須保持真空度0.001-0.01mm/ Hg。

       真空直讀瀆光譜儀的分光系統(tǒng)置于無氧的空間中為此配備了抽氣系統(tǒng)，抽氣系統(tǒng)由高速泵組成。