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1、X射線光管

       在X射線熒光光譜分析中，用X光管作激發(fā)源仍占優(yōu)勢。新一代X射線熒光光譜儀，對(duì)X光管作了以下改進(jìn)。

（1）提高X光管的功率。

(2）減薄X光管窗口的厚度。一般已減至125um，有的甚至減至75um，因而增加了初級(jí)X射線的透射率。

（3）減小X光管窗口與樣品的距離。采用的超尖銳陶瓷X光管，體積小巧，陽極與窗口距離很短，從而縮短了陽極和樣品間的距離，增大了X熒光的激發(fā)強(qiáng)度。

2、準(zhǔn)直器

       傳統(tǒng)的X射線熒光光諧儀一般只設(shè)置粗、細(xì)兩種準(zhǔn)直器。最近推出的儀器都設(shè)置3個(gè)或4個(gè)間距不等的組合準(zhǔn)直器，以適應(yīng)用戶在不同情況下對(duì)譜儀分辨率和靈敏度的不同要求，其中包括超粗或超細(xì)準(zhǔn)直器，增大了測量輕元素的靈敏度，提高了對(duì)稀土元素的分辨率。

3、分光器件

       為了降低背景，抑制雜線，消除靶線干擾，提供4個(gè)以上的濾光片。能量色散X熒光光譜儀有8種濾光片。有的儀器甚至有多達(dá)10種的濾光片。

       新一代X射線熒光光諧儀譜遍采用人工多層薄膜。這是一種由高Z元素層和低Z元素層交替組成的復(fù)合物，每層具有不同的成分和厚度，在真空中噴鍍到具有光學(xué)平面的石英基基片上。這種合成“晶體”，衍射效率高，分辨率好，可用來測定超輕元素。另外，新型多道諧儀的單色器幾乎都采用聚焦型或?qū)?shù)螺旋型彎晶，提高了對(duì)輕元素的檢測能力。

4、測角儀

       測角儀是順序型X射線熒光光譜儀的關(guān)鍵部件，無齒輪傳動(dòng)，探測器和晶體系統(tǒng)可以單獨(dú)轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)速度為4800"20/min。